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真空系统的特点

发布日期:2018-07-20 作者:admin 点击:

真空系统。是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前,该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。

 


真空系统


 该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。

 

 真空系统自启动后,全部运行过程可以实现全自动控制。在工作中,真空系统中、小型真空系统中、小型真空系统内各处的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始终在其允许范围内上下波动,其波动范围可根据用户要求进行调整。使用螺杆真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵及水环真空泵真空系统能达到较佳流程工艺首台真空泵启动后达不到设定所需真空时第二台真空泵启动至达到设定的真空值。当达到所需设定值后首台真空泵停止接着第二台真空泵停止循环工作。真空系统可在无人操作情况下对系统进行自动控制,在停电时可自动封闭真空系统。同时控制箱可以保护真空泵马达过载及短路。


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